凈化車(chē)間是能量消耗大戶(hù),這是因?yàn)橐3譂崈舻纳a(chǎn)環(huán)境所必需的空氣潔凈度等級(jí)、壓差、溫度、相對(duì)濕度要求;防止污染和交叉污染,凈化車(chē)間內(nèi)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的要求排除生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵、熱量、有機(jī)溶劑等所需的全室或局部排風(fēng)裝置,與此同時(shí)需向凈化車(chē)間內(nèi)送入相應(yīng)的或必需的室外新鮮空氣;根據(jù)不同的空氣潔凈度等級(jí)的要求需要有必須的換氣次數(shù)/送風(fēng)量。
為進(jìn)行正常的產(chǎn)品生產(chǎn),凈化車(chē)間內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備需按產(chǎn)品的特點(diǎn)供應(yīng)電力、純氣、純水、高純化學(xué)品等,這些也需消耗大量的能源,伴隨著電力等能量的消耗,在凈化車(chē)間內(nèi)產(chǎn)生的各種形式的發(fā)熱量還需進(jìn)行冷卻,有時(shí)這種需進(jìn)行冷卻的熱負(fù)荷量是不可忽視的。
凈化車(chē)間所需的凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷與一般工業(yè)廠(chǎng)房或?qū)懽謽堑囊话憧照{(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷相比,前者因空氣潔凈度等級(jí)和無(wú)塵室內(nèi)生產(chǎn)工藝要求的不同,冷負(fù)荷大約為2093-6280kj/(㎡.h),而寫(xiě)字樓的一般空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷僅335-502kj/(㎡/h).半導(dǎo)體集成電路制造或生物醫(yī)藥產(chǎn)品的主要生產(chǎn)工序都要求在無(wú)塵室內(nèi)進(jìn)行,為了保持所必須的空氣潔凈度等級(jí),需要將大量的空氣通過(guò)高效過(guò)濾后送入無(wú)塵室內(nèi),寫(xiě)字樓的一般空調(diào)房間的換氣次數(shù)為10次.h-1以下,而大規(guī)模集成電路生產(chǎn)所需的5級(jí)(100級(jí))、4級(jí)(10級(jí))、3級(jí)(1級(jí))無(wú)塵室的換氣次數(shù)可能達(dá)數(shù)百次,其送風(fēng)量將會(huì)比前者大數(shù)十倍以至百倍上,因此無(wú)塵室的凈化空調(diào)系統(tǒng)及其制冷機(jī)的耗電量比其他類(lèi)型建筑物的一般空調(diào)系統(tǒng)及其制冷機(jī)的耗電量大得多,據(jù)調(diào)查統(tǒng)計(jì)大規(guī)模集成電量約占工廠(chǎng)總耗電量的50%左右;制藥工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房的凈化空調(diào)系統(tǒng)及其制冷機(jī)的耗電量約占工廠(chǎng)總耗電量的60%左右!
如果萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室節(jié)能不采取新的措施——革新設(shè)計(jì)方法、研制新式節(jié)能設(shè)備、提高運(yùn)行管理水平,則將無(wú)法滿(mǎn)足消費(fèi)者的要求,所以各公司對(duì)凈化車(chē)間的凈化,無(wú)不從設(shè)計(jì)、運(yùn)行管理、研究開(kāi)發(fā)方面考慮各種手段、措施來(lái)減少能耗。
一、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室節(jié)能方面采取的措施
1.廠(chǎng)址選擇、建筑布局與工藝設(shè)置的合理性,可以從根本上降低初投資及運(yùn)行費(fèi)用。
2.減少凈化空間是大家共同關(guān)注的實(shí)現(xiàn)節(jié)能的快捷有效途徑的方向。凈化系統(tǒng)的風(fēng)量取決于房間體積和換氣次數(shù),而換氣次數(shù)大多由潔凈級(jí)別所確定,因此要降低 潔凈系統(tǒng)的風(fēng)量可以減小凈化空間入手。因?yàn)榈惋L(fēng)量化即合理地選定換氣次數(shù)可以減少送風(fēng)動(dòng)力消耗。同時(shí)在管路設(shè)計(jì)中盡可能減少系統(tǒng)的阻力,也可達(dá)到降低送風(fēng) 動(dòng)力消耗的效果。
3.正確確定生產(chǎn)設(shè)備的熱負(fù)荷對(duì)選定空調(diào)制冷設(shè)備有直接關(guān)系。
4.空調(diào)和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理性。
5.工藝過(guò)程中和空調(diào)系統(tǒng)的熱回收是可以直接獲益的措施,因此應(yīng)充分利用這部分熱量,使之達(dá)到物盡其用的目的。
6.設(shè)計(jì)方案應(yīng)具有較好的適應(yīng)性(靈活性),它是實(shí)驗(yàn)性車(chē)間必須考慮的問(wèn)題(如單向流/非單向流的轉(zhuǎn)換、分區(qū)轉(zhuǎn)換等)。
7.新風(fēng)集中處理有利于應(yīng)用地下水預(yù)冷、除塵和加濕。
8.室內(nèi)換氣次數(shù)和末級(jí)過(guò)濾器效率之間的組合(達(dá)到相同級(jí)別)需進(jìn)行經(jīng)濟(jì)比較。
二、 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室運(yùn)行過(guò)程中的注意事項(xiàng)
1.生產(chǎn)工作停止時(shí),排氣柜應(yīng)減小排風(fēng)量,新風(fēng)量亦應(yīng)隨之調(diào)小。
2.根據(jù)不同的工藝過(guò)程應(yīng)能有效控制室內(nèi)換氣次數(shù)。
3.與一般空調(diào)系統(tǒng)相同,運(yùn)行中在某些季節(jié)應(yīng)盡可能利用自然的冷卻作用(室外空氣冷卻、冬季利用冷卻塔獲得冷水)。
4.過(guò)渡季是否增加新風(fēng)比,以及值班運(yùn)行方式是否提前開(kāi)動(dòng)運(yùn)行均應(yīng)通過(guò)經(jīng)濟(jì)比較確定。
5.提高空調(diào)凈化系統(tǒng)的自控水平,能夠?qū)崿F(xiàn)既保證運(yùn)行質(zhì)量,又能達(dá)到節(jié)能的目的。
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